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直径2mm电磁型微马达的研制及其气隙磁场的分析
微机电系统(MEMS)是正在国际上发展的新兴学科,微马达是微机电系统中的关键器件,本文介绍了研制成的直径为2mm、高0.7mm的电磁型微马达的结构特点,并......
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